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        鍍膜時間設置: 1~4676 sec/ step
        旋涂速度:0~ 9484 rpm
        旋涂加速度:0 ~ 29015 rpm/s (空載)   
        轉速穩定性:1 rpm
        轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
        鍍膜尺寸:φ10 ~ 426 mm                                1
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